EDS能谱仪原理： 能量色散谱仪(energy dispersive spectrometer: EDS)是x射线能谱分析的一种仪器。在电子与物质相互作用时，采用能聚焦的入射电子可以激发初级x射线，不同元素发射出来的特征x射线波长不同，能量也不同。利用x射线能量不同而展谱一般称为x射线能谱分析或能量色散x射线分析，所用设备通常称为能量色散谱仪。主要单元是半导体探测器及多道脉冲高度分析器，用以将特征x射线按能量展分辨率远不如波长色散谱仪，它有分析速度快的优点，和通用的x射线波长色散谱仪相比可提高10倍，如果进行物相鉴定，只需几分钟就可以得到被测物质的全部衍射花样。 EDS能谱仪的特点： 1.能快速、同时对各种试样的微区内B-U的所有元素，元素定性、定量分析，几分钟即可完成。 EDS分析是利用元素的特征X射线，而氢和氦原子只有K层电子，不能产生特征 X 射线，所以无法进行成分分析，锂(Li)和铍(Be)虽然能产生X射线，但产生的特征X射线波长太长，能量小，通常无法进行检测，目前元素分析元素范围一般从硼(B)-铀(Ｕ)。 在这里提醒一下，一般以谱图上出峰来判断是否有该元素，对于某些元素，有时在选中元素后即使没有也会显示含量，如果在谱图上没有出峰，大概率是误差，不应认为有该元素。 2.对试样与探测器的几何位置要求低：对WD的要求不是很严格；可以在低倍率下获得X射线扫描、面分布结果。 3.能谱所需探针电流小：对电子束照射后易损伤的试样，例如生物试样、快离子导体试样、玻璃等损伤小。 4.检测限一般为0.1%-0.5%，中等原子序数的无重叠峰主元素的定量相误差约为2%。 EDS能谱仪的分析方法： 1.点析法 电子束（探针）固定在试样感兴趣的点上，进行定性或定量分析。该方法准确度高，用于显微结构的成份分析，对低含量元素定量的试样，只能用点分析。 2.线扫描分析 电子束沿一条分析线进行扫描时，能获得元素含量变化的线分布曲线。结果和试样形貌对照分析，能直观地获得元素再不同相或区域内的分布。 3.面分布 电子束在试样表面扫描时，元素在试样表面的分布能在屏幕上以亮度（或彩色）分布显示出来（定性分析），亮度越亮，说明元素含量越高。研究材料中杂质、相的分布和元素偏析常用此方法。面分布常常与形貌对照分析。 #材料科学 #样品制备 #透射电镜 #元素分析 #EDS #tem透射电镜 #mapping